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THS4減振器因其內部阻尼室的空間更大,所以能提供更出色的減振及衰減性能,且穩定時(shí)間遠優(yōu)于光學(xué)平臺。
減振方式:氣動(dòng)減振
固有頻率:垂直/水平=1.5-2HZ
10Hz減振率:90-99%
自動(dòng)調整水平:是
調整水平重復性:
1、標準調整精度±0.1mm
2、高精度調整精度±0.05mm
在垂直和水平方向提供水平的減振性能。THS4減振器采用兩室系統,用節流孔將氣室與阻尼室相連接。
兩室結構能夠有效衰減傳遞到設備的振動(dòng),使運動(dòng)平臺所需時(shí)間降低,并且固有頻率更低。
如需較高的水平度,可將精密調平閥(±0.05mm)安置在減振器上,減振性能更好。
在THS4系列減振器上可以安裝內置型油阻尼,搭載運動(dòng)平臺的設備穩定時(shí)間得以縮減,減振器剛性提升。
光學(xué)設備、檢測設備、半導體設備、探針臺